更新時間：2025-11-04
MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有業(yè)界*的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)*潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。便攜式空氣顆粒計數(shù)器|選擇 MET ONE 3411 的優(yōu)勢所在可讓您的潔凈室保持潔凈0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點塵不染熱插拔電池-*確保儀器長時間
MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有業(yè)界*的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)*潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。
便攜式空氣顆粒計數(shù)器|選擇 MET ONE 3411 的優(yōu)勢所在
可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點塵不染
熱插拔電池-*確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數(shù)歸零及采用備份電源時都無需停機(jī)
測試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤
順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數(shù)器可依次從多達(dá)32個位置進(jìn)行順序采樣。
靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作
直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數(shù)組部署采樣計劃！
符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
專用于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性*符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
產(chǎn)品參數(shù)
通道個數(shù) | 6 |
粒徑 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ |
光源 | 氦氖激光器 |
重量 | 不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤 |
尺寸 | 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高) |
機(jī)箱材質(zhì) | 便于清洗的鈍化不銹鋼 |
流速 | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
零計數(shù) | ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標(biāo)準(zhǔn):5分鐘內(nèi)1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間 |
符合損失 | 在 50,000 /ft3 時，為5%，符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn) |
泵的類型 | 可供連續(xù)使用的的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
計數(shù)效率 | 在0.1 µm時為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時為 * |
運行溫度 | 10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%，無冷凝 |
顯示 | ? VGA 彩色 TFT 觸摸屏 |
打印機(jī) | 高速熱敏打印機(jī) |
語言 | 英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語*，日語*，中文 |
可以顯示的*大數(shù)值 | 9,999,999 displayed |
延遲時間 | 15秒鐘至23小時59分59秒 |
采樣/停留時間 | 1秒鐘至23小時59分59秒 |
計數(shù)警報 | 1~ 9,999,999 個計數(shù)值 |
位置 | 編號：0 至 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上 |
數(shù)據(jù)存儲 | 5,000 個樣品， 在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow) |
輸出 | USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機(jī)端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報和掃描探頭) |
鋰電池，可充電、可熱插拔 | Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX |
輸入 | 空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭 |
自動 CDA 清洗 | 連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活 |
電源 | 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器 |
電池類型 | 智能鋰電池，可充電，可熱插拔 |
電池使用時間 | *短 3 小時 |
電池的充電時間 | 電池的充電時間 |
包含電池數(shù)量 | 2組 |
MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數(shù)器的隨附配件
部件編號 | 描述 |
2087966-01 | 等動力探頭1.00 CFM，鍍鎳鋁制3/8“倒鉤接頭 |
960380 | 樣品管，內(nèi)徑 3/8" ，長 10英尺 |
2088035-01 | 等動力探頭適配器，鋁制 |
970650 | 等動力探頭三腳架 |
230-300-7052 | 24VDC電源輸出 |
VP623500 | 電源線：115VAC, 6' L |
VP623501 | 電源線：115VAC, 6' L |
2087939-01 | 零計數(shù)過濾器 1CFM |
2087090 | PortAll 軟件,CD |
460519 | 打印紙，2卷 |
280-120-2024 | 2組鋰電池 |
210-400-5171 | 觸摸屏手寫筆 |
2088010-01 | 128M USD閃存驅(qū)動 |
410-150-0011 | 3針微型接線端子 |
410-420-0020 | 接線端子罩殼 |
490-200-0001 | 無線天線，附帶無線版本P / N 2088800-02 |
MET ONE 3411 便攜式空氣計數(shù)器可選配件
部件編號 | 描述 |
CAL_GAS_3411 | 3411型的氣體校準(zhǔn)，包括氦、氬、二氧化碳和氮氣 |
701241-01 | 3400系列IQ / OQ 驗證文件（CD） |
2087966-02 | 等動力探頭1.0 CFM，不銹鋼制3/8“倒鉤接頭 |
2089406-01 | 等動力探頭支架 |
460519 | 打印紙（價格以每卷計） |
280-300-5000 | 智能電源充電器 |
280-120-2024 | 智能鋰電池 |
2088928 | 溫度和相對濕度探針VAISALA HMP50 |
2087939-01 | 零點計數(shù)過濾器（1.0 CFM型） |
460-400-4798 | 電纜，USB2.0 高速，1m |
2084045-02 | Particle Vision PortAll, 2.0.x版，套件，下載工具軟件，適配器和說明書（串行電纜需單獨購買） |
700011-21 | PortAll 許可標(biāo)準(zhǔn)版 |
2088000-01 | 過濾器掃描探頭（電子式）1 CFM |
2088000-02 | 過濾器掃描探頭（無電子式）1 CFM |
2088012-02 | 適配器，USB轉(zhuǎn)RS232，USB線纜 |
2088012-01 | 適配器，USB轉(zhuǎn)RS485，USB線纜 |
2080732-8 | 高壓擴(kuò)散器，用于 1.0 CFM 設(shè)備。 |
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